光亨精密科技有限公司
產品
探針卡量測專用機
電洽
A. 檢測規格
(1) 可檢測多種探針類型及針尖型式
(2) 針卡檢測：將針卡進行掃描後即可得到以下資料：
a.針中心座標偏移：可輸入公差與標準規格比對
b.針尖尺寸：四邊形長寬、圓形直徑
c.針尖尺寸：相對位置、針尖共面(1) 可檢測多種探針類型及針尖型式
(2) 針卡檢測：將針卡進行掃描後即可得到以下資料：
a.針中心座標偏移：可輸入公差與標準規格比對
b.針尖尺寸：四邊形長寬、圓形直徑
(3) 檢測單元與調整單元共位設定、光學檢測鏡頭與調針顯微鏡共位設定，可以隨 時作軟體移動校準補償，可以快速校正機台座標以達到更精確的量測。
(4) 搭配客製化專業探針卡檢測分析軟體，人性化中英文介面軟體，操作簡便，可 以直接匯到EXCEL針卡座標及直徑做為比對。
(5) 調針不需人工尋找針卡NG點位置，全由軟體控制定位，可清楚完整呈現針卡偏 移的方 向，完全不需人工臆測。
(6) 機台光學尺解析度 0.1um，平台重複精度 2um，目前為業界最佳探針量測機 台表現。
(7) 機台高效率異常偵測可檢出針徑 < 6um、針偏 < 3um
(8) 智能調針系統操作，業界最快量測調針速度，優於PRVX，也較傳統式量測調針機台節 省50%以上時間。
(9) XY移動台旋轉180度 ( 另備有挑針扶手方便人員操作 )。
(10) XY移動平台附加高精準探針卡專用平面研磨置具。
(11) 工作平台加大至1500mm，採U型設計，方便人員操作。
(12) 機台配有Probe 專用客製化置具、工業搖桿一組。
B. 硬體規格
(1) X、Y、Z量測範圍：400X300X100 mm
(2) 電控Z軸及多重防護撞片系統，排除針卡撞擊之風險
(3) 機身結構：機台精密花崗石基座+ Z柱花崗石光學機台精度可達
(1+5L/1000) μm，重覆精度：1um；可滿足物件檢測之高精度要求
(4) 同軸光光學鏡頭，放大倍率 200X ( 可換倍率 )
(5) 精密光學尺，解析度為0.1 μm
(6) 檢測攝影機：佰萬畫素攝影機
(7) 表面光源：可調式同軸光源組；環型光源：可調式光源組 ( Auto-Light )
(8) 工業級電腦主機 ( 含W10 Pro正版 ) + 22“ TFT-LCD液晶螢幕
(9) 機台尺寸(長x寬x高) 1800 X 1200 x 1800 (mm)；機台重量 1800 Kgs
C. 挑針調整規格
(1) 挑針可調整範圍 ( X、Y 軸 ) 300 mm x 300 mm ( 12”X 12”)
(2) 兩眼式 Leica 立體顯微鏡，25X目鏡含十字線刻度顯示，目鏡筒可45度抬頭
傾斜，瞳距52~75 mm ± 5 mm
(3) 可連續變倍0.75X ~ 6.0X，工作距離 110 mm